Травление диэлектриков
Модуль Omega® Synapse™ имеет источник плазмы высокой плотности и предназначен для травления твердых материалов, включая:
- SiO2 (включая травление толстого окисла >100 µm)
- Стекло
- SiNx
- SiC
- GaN
- PZT иAlN
- Al2O3
Технологии – всё, деньги – ничто!
Модуль Omega® Synapse™ имеет источник плазмы высокой плотности и предназначен для травления твердых материалов, включая: